湖南日报6月9日讯（全媒体记者 颜石敦 通讯员 李灿晖）记者近日从湘潭宏大真空技术股份有限公司了解到，该企业自主研发的多室光学磁控溅射镀膜机、卧式双面磁控溅射镀膜机两款高端真空镀膜装备，经权威机构鉴定，核心指标达到国际领先水平，现已启动量产，即将交付国内多家头部面板及新能源企业。

　　真空镀膜装备是高端制造核心“工业母机”，可在玻璃、金属等基材表面镀制纳米级薄膜，有效提升手机屏耐磨性、光伏板发电效率。长期以来，国内高端真空镀膜装备市场被国外垄断，国产相关产业发展受限。

　　此次两款新设备精准破解行业两大技术难题。针对多层精密镀膜分段加工易交叉污染、良品率低的问题，多室光学磁控溅射镀膜机实现单机真空密闭一体化连续镀膜，一次性完成多层膜层沉积，大幅提升镀膜均匀度与产品良品率。针对大尺寸超薄基板单面镀膜易翘曲变形的痛点，卧式双面磁控溅射镀膜机首创双面同步镀膜工艺，平衡基材正反应力，彻底解决翘曲问题，同时攻克镀膜打弧、制程不稳定等技术瓶颈。

　　宏大真空目前已累计申请专利超300项，成功获批省级真空镀膜科技成果转化中试基地，新增省级纳米膜层新材料研发团队，建成全链条创新体系。