湖南日报11月21日讯(全媒体记者 曾玉玺 通讯员 邹国栋 申晔军)今天,湘芯半导体生产基地(一期)项目在娄星产业开发区开工建设。该项目总投资25亿元,其中项目一期投资9亿元,将建成全国首条大尺寸静电吸盘生产线、碳化硅刻蚀环生产线、超高速磁悬浮分子泵生产线。达产后,预计可年产3万件半导体设备用核心零部件。
静电吸盘是半导体制造中的关键设备,用于稳定吸附与搬运半导体材料,特别是在晶圆切割、封装测试等环节不可或缺;碳化硅刻蚀环是半导体等离子刻蚀机的关键耗材,是生产高端芯片必不可少的材料;磁悬浮分子泵能为光刻机、刻蚀机、真空镀膜设备等半导体设备,创建高真空环境。湖南湘芯新材料有限公司董事长张桂华介绍,项目投产后,3项“卡脖子”半导体设备用核心零部件将被国产化替代。
近年来,娄底以“材料谷”为统揽,打造特色产业集群,已形成450万吨硅钢基板、300万吨不同牌号硅钢产能,先后引进爱派尔工业互联网+数字化智能制造产业园、湖南宏旺新材料科技有限公司年产96万吨高牌号硅钢项目、湖南奥蓝新材料科技有限公司MLED显示模组项目等。今年,娄底推动钢铁新材产业链向下游延伸,已签约电机、电力变压器、家电等“三电”产业项目53个,总投资175.82亿元,湘芯半导体生产基地项目是重要成果之一。