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2023年06月30日 星期五
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中国电科48所率先发布国产8英寸碳化硅外延设备
国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”

  湖南日报6月29日讯(全媒体记者 王铭俊 通讯员 张星)今天,中国电科48所携自主研发的集成电路、第三代半导体等领域关键核心专用设备亮相2023上海国际半导体展览会。作为本届展会的一大亮点,该所率先发布自主研制、用于生产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备,标志国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。

  碳化硅作为第三代半导体材料,具有耐高温、高电压、高频率、高功率等优良性能,被广泛应用于电力、通信、光电、新能源等领域。其中,碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的关键材料。相较于此前生产的6英寸外延设备,此次发布的8英寸碳化硅外延设备生产出的外延片边缘损耗更小、可利用面积更大,未来通过产量和规模效益的提升,成本有望降低60%以上。

  “外延设备迈进‘8英寸时代’一直是产业聚焦的热点之一。”中国电科48所党委书记王平介绍,扩大设备尺寸是碳化硅产业链降本增效的有效路径。中国电科48所聚焦国内第三代半导体产业发展需要,率先开展8英寸碳化硅外延设备关键技术突破,先后解决了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题,实现了大尺寸外延材料生长所需的均匀、稳定温流场分布。目前该设备已在国内头部企业上线验证。

  “我们的目标是‘串珠成链,以线带面’。”王平介绍,48所着力在外延、注入、氧化、激活等专用核心装备上发力突破,结合立式扩散炉、物理气相沉积等通用设备和半导体芯片生产线的建线经验,成为国内唯一具备提供碳化硅整线集成解决方案能力的单位。

  此前,在6英寸碳化硅外延机型方面,48所收获了国内第三代半导体装备行业的第一大订单。该所研发的芯片制造关键装备碳化硅高温离子注入机已实现100%国产化,稳居国内市场占有率第一。

  “我们将坚决担负起‘国家队’的使命责任,助力碳化硅行业向低成本、规模化方向迈进。”王平表示,下一步,48所将持续加强关键核心技术突破,以产业链重点环节的补链固链强链为己任,积极开展产业链协同创新,形成产学研紧密合作、上下游链条打通的协同创新局面,为我国第三代半导体产业实现高水平科技自立自强贡献“装备力量”。

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